вимоги вимірювання
Сканіруйте тривимірний профіль поверхні MEMS-чіпу, щоб видобути профіль для вимірювання деяких відмінностей від гравірування поверхні на ньому

Огляд основних особливостей
Безконтактне вимірювання, інтегрований дизайн

3-вимірне сканування, багатофункціональна обробка даних
Точне вимірювання для різних матеріалів

4. Простий у використанні, зручний у демонтажі

Швидка швидкість сканування, висока точність позиціонування

6. ± 0,5 до ± 1 мкм Повторювання точності

Висока стабільність, сильна протидія перешкодам

Результати вимірювань
Висота відмінності в сегменті гравірування поверхні близько 300 мкм

Вирішення проблем з вимірювальними пристроями на поточному етапі

Існують певні вимоги до вимірювального матеріалу
Контактне вимірювання, пошкодження вимірювального матеріалу
Невеликий діапазон вимірювань, невизначене місцезнаходження, важкі вимірювання
Повільна швидкість вимірювання, низька точність, велика помилка вимірювання

Складна структура, високі витрати